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產品中心YUSEETECH自營品牌域勢真空計溫補型域勢科技電容金屬薄膜真空計
產品簡介
域勢科技電容金屬薄膜真空計（溫補型）采用單側雙電極差分電容設計，暴露于工藝氣體的材料全部為Inconel/Incoloy合金。
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產品分類| 品牌 | 域勢科技 | 量程 | 1.333至1333mbar |
|---|---|---|---|
| 測量原理 | 基于薄膜與固定電極之間的電容變化進行壓力測量 | 價格區間 | 1萬-2萬 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
域勢科技電容金屬薄膜真空計（溫補型）
溫補型電容金屬薄膜真空計采用單側雙電極差分電容設計，暴露于工藝氣體的材料全部為Inconel/Incoloy合金，超高靈敏度的前端電路和*算法，保證在工作壓力下有很高的靈敏度和測量精度，響應迅速，性能穩定，抗腐蝕性強，獨特的溫度補償算法幫助產品快速穩定。提供1Torr至1000Torr滿刻度范圍，具有低成本、高性能的特點，適用于鍍膜行業、半導體和等離子應用等惡劣的生產加工環境，為其提供穩定的性能。
優點
1.溫度補償型金屬薄膜差分電容絕壓傳感器
l高度靈敏
l高精度和重復性
l長期穩定性高
l快速到達工作狀態
2.傳感器全部為堅固且耐腐蝕Inconel合金
l不依賴氣體，測量結果與氣體成分無關
l允許與腐蝕性或骯臟氣體一起使用
l真空計材料對過程無污染
3.輸出信號豐富
l易于集成，接口豐富，滿足各種系統集成需求
l獨立的Type C 診斷、調試、配置接口
4.壓力觸發輸出功能
l通過繼電器輸出壓力觸發信號
域勢科技電容金屬薄膜真空計（溫補型）
技術參數
指標 | 規格參數 |
滿刻度量程 | 1Torr，10Torr，100Torr，1000Torr，定制 |
精度 | ±0.5%的讀數 |
分辨率 | 0.001%FS |
零溫度系數%滿量程/℃ | 0.015% |
量程溫度系數%讀數/℃ | 0.02% |
建議讀數范圍 | 0.005V to 10V@FS |
建議控制壓力范圍 | 0.05V to 10V@FS |
設備內部溫度選項 | 非恒溫，溫度補償算法 |
預熱時間 | 30分鐘 |
環境溫度 | 0至40℃ |
觸發功能 | 支持，兩路單刀雙置開關，分布可以設置0.1%~100%FS任意壓力，繼電器容量0.6A@30VDC |
故障輸出功能 | 可選，通過繼電器輸出恒溫故障和設備故障 |
輸出 | 0-10VDC模擬輸出，＞10K歐姆；RS422輸出（RS485可選） |
電氣連接器 | D-Sub，15腳，針型插座；M8航插，7腳，孔型插座 |
輸入電源 | ±15VDC（±5%）、24VDC（±5%）或 20~26VDC;5W |
超壓限制 | 45Psia |
暴露于工藝氣體的材料 | 進樣管為316L材料，其余均為Inconel和Incoloy合金 |
傳感器響應時間 | 25毫秒 |
校準方向 | 默認垂直校準，水平校準可選 |
內部體積 | 5.1ml（不包含進樣接口） |
杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。
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