域勢科技電容金屬薄膜真空計（高溫型）

高溫型電容金屬薄膜真空計采用單側雙電極差分電容設計，暴露于工藝氣體的材料全部為Inconel/Incoloy合金，超高靈敏度的前端電路和*算法，保證在工作壓力下有很高的靈敏度和測量精度，響應迅速，性能穩定，抗腐蝕性強，提供150℃至200℃兩個高溫版本極大的改善了沉積物質對電容膜片的影響，提供1Torr至1000Torr滿刻度范圍，具有優秀的性能，適用于苛刻的半導體、等離子和高危材料純化等領域，是精確總壓測量與控制的理想之選。

優點

1.高溫型金屬薄膜差分電容絕壓傳感器

l高度靈敏

l高精度和重復性

l長期穩定性高

2.傳感器全部為堅固且耐腐蝕Inconel合金

l不依賴氣體，測量結果與氣體成分無關

l允許與腐蝕性或骯臟氣體一起使用

l真空計材料對過程無污染

3.輸出信號豐富

l易于集成，接口豐富，滿足各種系統集成需求

l獨立的Type C 診斷、調試、配置接口

4.故障輸出功能/壓力觸發輸出功能

l通過繼電器輸出：恒溫故障和設備故障/壓力觸發信號

域勢科技電容金屬薄膜真空計（高溫型）

技術參數

指標	規格參數
滿刻度量程	1Torr，10Torr，100Torr，1000Torr，定制
精度	±0.5%的讀數
分辨率	0.001%FS
建議讀數范圍	0.005V to 10V@FS
建議控制壓力范圍	0.05V to 10V@FS
設備內部溫度選項	150℃，200℃
預熱時間	4小時
環境溫度	15至50℃
觸發功能	可選，兩路單刀雙置開關，分布可以設置0.1%~100%FS任意壓力，繼電器容量0.6A@30VDC
故障輸出功能	可選，通過繼電器輸出恒溫故障和設備故障
輸出	0-10VDC模擬輸出，＞10K歐姆；RS422輸出（RS485可選）
電氣連接器	D-Sub，15腳，針型插座；M8航插，5腳，孔型插座
輸入電源	±15VDC（±5%）、24VDC（±5%）或 20~26VDC;峰值50W@150℃，70W@200℃
超壓限制	45Psia
暴露于工藝氣體的材料	進樣管為316L材料，其余均為Inconel和Incoloy合金
傳感器響應時間	50毫秒
校準方向	默認垂直校準，水平校準可選
內部體積	5.1ml（不包含進樣接口）

杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。