PRECESS L-Motion 移位傳輸門閥適用于腐蝕工藝,如蝕刻或 CVD,通過單軸氣動(dòng)執(zhí)行器對(duì)閘門進(jìn)行 L 型運(yùn)動(dòng)的技術(shù)。在 L 型運(yùn)動(dòng)中,閘門垂直移動(dòng)到接近位置 - 不與閥體有任何接觸 - ...
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PRECESS L-Motion 移位傳輸門閥適用于腐蝕工藝,如蝕刻或 CVD,通過單軸氣動(dòng)執(zhí)行器對(duì)閘門進(jìn)行 L 型運(yùn)動(dòng)的技術(shù)。在 L 型運(yùn)動(dòng)中,閘門垂直移動(dòng)到接近位置 - 不與閥體有任何接觸 - ...
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PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥(AB系列)提供壓力控制性能。憑借其快速而精確的運(yùn)動(dòng)控制器(0.1s),它是在PVD,CVD,Etch和Ald等各種過程中進(jìn)行壓力控制的理想解決方案。板充當(dāng)節(jié)流元件...
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Leybold萊寶電容薄膜真空計(jì)(CTR100)適用于腐蝕性工藝氣體。它能達(dá)到優(yōu)秀水平的精度(0.2%),通過陶瓷電容式傳感器進(jìn)行真空度測量。
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Leybold萊寶熱陰極真空計(jì)(ITR90)是一款經(jīng)過優(yōu)化的組合變送器。通過將熱陰極電離傳感器(采用熱陰極電離的 Bayard Alpert 原理)與皮拉尼傳感器相結(jié)合,可實(shí)現(xiàn) 5×10-1...
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Leybold萊寶線性壓力傳感器(DI200)是一款性能優(yōu)異的真空壓力測量儀器。它堅(jiān)固耐用,防護(hù)等級(jí)為IP54,適用于惡劣環(huán)境。產(chǎn)品非常緊湊,只需要一個(gè)傳感器,采用電容式或壓電式傳感器。
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Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)(TTR101)的測量范圍從 5×10?? 到1500 mbar,能夠滿足從粗真空到高真空的測量需求。在 10mbar 到 1500mbar 的測...
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Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計(jì)(PTR90)精度高,外形小巧,占用空間小。它們采用杰出的技術(shù),其真空測量能力達(dá)到很高水平。
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德國Leybold萊寶數(shù)顯手持式真空計(jì)(TM101)測量范圍為 1200...5×10-4 mbar。Piezo/Pirani 復(fù)合真空計(jì),帶有溫度補(bǔ)償功能,適合法蘭安裝。如果使用合適的電池...
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INFICON英??抵械驼婵真嚱z皮拉尼真空規(guī)PSG500、PSG500-S、PSG502-S、PSG510-S和PSG512-S采用市場上先進(jìn)的數(shù)字皮拉尼技術(shù)。測量范圍:5×10-4 … 1...
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YUSEETECH氣體質(zhì)量流量計(jì)(YEC2000系列)是專為各類低成本工業(yè)氣體進(jìn)行各種管理和控制而設(shè)計(jì)。該系列儀表可提供直觀的質(zhì)量流量信息,友好的用戶界面設(shè)計(jì) (RS485/ 4~20mA)可輕松的進(jìn)...
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PSG010, PSG017, PSG018英福康(INFICON)耐高溫、耐輻射真空計(jì),是一款無源皮拉尼真空計(jì),有著悠久的歷史,與INFICON的VGC094真空規(guī)控制器配套使用。其測量范圍為:8&...
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VGC094 INFICON 耐高溫、耐輻射真空計(jì)控制器,可以連接多個(gè)型號(hào)無緣真空計(jì),測量范圍為:1.0×10-11 … 1000mbar;該控制器可以配置2組真空計(jì)控制卡,可接4個(gè)真空計(jì)(...
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YUSEETECH管道式氣體質(zhì)量流量計(jì)( YEC-FD系列)是專為工業(yè)氣體進(jìn)行各種管理和控制而設(shè)計(jì)。該系列儀表可提供直觀的質(zhì)量流量信息,友好的用戶界面設(shè)計(jì)(RS485/4~20mA/脈沖等)可輕松的進(jìn)...
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設(shè)備生產(chǎn)商們一直在尋找更緊湊的氣體流量和壓力測量及控制的方案。先前,傳統(tǒng)的質(zhì)量流量和壓力計(jì)都需要至少1.5″空間,比如具體到在 NeSSI™ 系統(tǒng)中。如今,Bronkhorst通過與TNO...
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