電容薄膜真空計(jì)INFICON (英福康）

CDG025D電容薄膜真空計(jì)屬于INFICON薄膜規(guī)系列。測(cè)量精度可達(dá)：0.2%（讀數(shù)精度）、自帶溫度補(bǔ)償功能，可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。自帶一鍵歸零功能和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整功能。選用防腐蝕陶瓷傳感器可應(yīng)用于腐蝕性真空環(huán)境。在腐蝕性環(huán)境中也能保持良好的零點(diǎn)穩(wěn)定性；預(yù)計(jì)壽命可達(dá)到數(shù)百萬(wàn)個(gè)加壓循環(huán)，包括突發(fā)大氣壓。傳感器屏蔽可防止儀表被過程污染。堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子元件可有效過濾電磁干擾，保持長(zhǎng)期的穩(wěn)定測(cè)量。

技術(shù)特點(diǎn)：

· 從 100 mTorr 至 1000 Torr 滿量程可選

· 電源接通后快速穩(wěn)定

· 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)

· 可選防腐蝕陶瓷傳感器

· 優(yōu)秀的電磁屏蔽技術(shù)保持信號(hào)的長(zhǎng)期溫度

· 具有溫度補(bǔ)償功能

· 傳感器有防污染保護(hù)功能

· 一鍵調(diào)零功能

典型應(yīng)用：

· 用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備

· 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示器制造設(shè)備

· 工業(yè)真空設(shè)備

· 高度精確的壓力測(cè)量控制

電容薄膜真空計(jì)INFICON (英福康）

技術(shù)參數(shù)：

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