Alicat MCES防腐蝕氣體質量流量控制器

（半導體行業專用）

• 插入式兼容性。外形包括焊接 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標準 MFC 的 124 毫米端到端長度相匹配。

• 多功能且準確。對 98 多種氣體和 20 種自定義混合物進行實時控制，精度可達 NIST 可追溯的讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%。

• 輕松集成。 定制過程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業過程中。

MCES 系列性能（大多數產品）

• 可用滿量程范圍： 0.5 SCCM 至 20 SLPM

• 穩態控制范圍：滿量程的0.01% – 100%

• 標準精度校準，NIST 可追溯：讀數的 ± 0.6% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準

• 可選高精度校準，NIST 可追溯：讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準

• 重復性： ±（讀數的0.1% + 滿量程的0.02%）

• 典型控制響應時間：快至 30 ms

• 預熱時間： <1秒

MCES 系列操作條件

• 兼容氣體： 98 種以上預加載的可選氣體校準

• 工作溫度： –10°C 至 +60°C

• 滿量程工作壓力： 160 PSIA

• 最大壓差： 75 PSID

• 耐壓： 175 PSIA

• 用戶可選擇的參考條件（默認）：  25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

Alicat MCES防腐蝕氣體質量流量控制器

設備范圍和規格

0.5 SCCM 至 20 SLPM

• 多變量過程測量：同時測量質量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。

• 用戶可更改測量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測量單位。

• 氣體選擇性： 從我們的氣體列表中預裝的 98 多種 NIST 可追蹤氣體校準中選擇您的工藝氣體 。

• Gas Select Composer™： 使用我們的Gas Select Composer ™固件定義最多 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物 。

• 帶集成觸摸板的單色背光 LCD： 使用背光顯示屏輕松讀取測量值，并通過用戶友好的集成觸摸板控制配置。

• 用戶可調節的設定點斜坡和限制：可配置的斜坡速率允許根據需要控制過程變量的快或慢，并且可配置的設定點限制可保護過程免受無意的設定點變化的影響。

• 用戶可調節標準溫度和壓力 (STP) 條件： 快速 更改參考條件， 無需重新校準。

• 閥門關閉超控和閥門打開超控：利用警報快速排氣系統或根據需要停止所有流量。

購買時要求 | 自由的

• 可選的集成累加器和批量控制：每 1 毫秒累加一次質量流量，以便精確跟蹤一段時間內的總流量，并使用批量控制來分配精確的體積。

構建和性能選項

• 通信協議：模擬、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS、PROFINET

• 顯示屏：單色或彩色背光；集成或面板安裝

• 過程連接：壓縮、VCR 或 VCO 接頭

• 接液材質： 302、303、304、316L、430FR不銹鋼；FKM、氧化鋁陶瓷、黃銅、玻璃、金、熱固化環氧樹脂、熱固化硅橡膠、聚酰胺、硅

• 校準：高精度；自定義校準點

閥門選項和 PID 調節

您的質量流量控制器可以使用以下閥門選項之一進行定制，以確保在您預期的過程條件下獲得更佳性能。

• MCE：內置小型比例控制閥

定制 PID 閥門調節可確保您的特定過程條件發揮最大性能。