日常生活中我們被蒸汽包圍。通過呼吸、視覺或觸覺，我們感知它的存在。另一個明顯的例子是水蒸氣，它是我們家中空氣的一部分。如果空氣遇到較冷的表面（例如窗戶）就會很明顯。所含的水蒸氣可能會凝結在窗玻璃上，并像液體一樣變得可見和可觸摸。

工業過程和實驗室中，蒸汽也發揮著作用。什么是蒸汽？蒸汽用于哪里？以及如何以受控的方式將蒸汽輸送到此類過程中？  

什么是蒸汽？

蒸汽與氣體相似-氣體是物質的基本狀態，就像固體和液體一樣。氣體和蒸汽由單獨的分子組成，它們以自由粒子的形式移動。氣體和蒸汽之間有本質的區別。如果化合物在室溫（約20℃）和常壓（1個大氣壓）下是液體，那么我們將該化合物的“氣態"形式稱為蒸汽。這就是為什么我們稱水的“氣態"形式為蒸汽，而氧氣的氣態形式是氣體，因為氧氣在環境條件下仍然是氣體。

如何產生蒸汽？

當提高溫度或降低壓力時，液體會蒸發并轉化為蒸汽。在分子水平上，液體表面的任何溫度下，總有分子具有足夠的速度離開液體。因此，在液體上方總是存在相同液體的蒸汽。蒸發發生在任何溫度下，而不僅僅是在液體的沸騰溫度下。沸騰溫度只是一個定義：它是液體蒸汽壓等于環境壓力的點。

操作溫度和壓力是控制蒸汽壓的兩種方法，因此是控制蒸汽量或-在動態情況下-蒸汽流量。控制蒸汽壓力的第三種方法（實際上是降低蒸汽壓）是稀釋蒸汽，例如在蒸汽中加入惰性氣體（如氮氣）。

為什么使用蒸汽？

在某些情況下，您可能希望以受控方式將蒸汽添加到工藝中。例如，考慮燃料電池-PEMFC-其中的電解質需要處于水合狀態（加濕）以保持高電導率，從而獲得優化性能。閱讀應用案例獲得更多相關信息，您可能希望為濕度傳感器的校準和認證提供準確的水蒸氣濃度，以便設備顯示正確的濕度值。

另一種類型的蒸汽輸送是受控地向反應器供應金屬有機蒸汽。氣態化合物在化學氣相沉積反應中充當前體，在物體上沉積薄層，例如沉積半導體薄膜。準確的蒸汽供應是必要的，以準確控制涂層生長-即使在復雜形狀的物體上-并避免溢出昂貴的金屬有機前體。

使用起泡器的傳統蒸汽流量控制

將蒸汽輸送到客戶工藝的傳統方法是使用起泡器系統。氣流通過充滿液體化合物的加熱容器冒泡。載氣流全部或部分被復合蒸發飽和，并且該蒸汽由載氣進一步引導至客戶的工藝流程。這是非常簡單的設置，可以多功能使用，但也有一些缺點。工藝條件的微小變化可能會使蒸汽流量發生較大變化，使其成為一種相對不準確的輸送技術，長期穩定性較差。由于蒸汽壓很大程度上取決于容器溫度，因此溫度的輕微變化將導致蒸汽壓和蒸汽流量的相當大的偏差。此外，總壓力和載氣流量需要穩定，才能產生穩定的蒸汽流量。蒸汽流量解決方案在很大程度上依賴于溫度和壓力。

載氣通過液體

通過受控蒸發和混合改進蒸汽流量解決方案

克服上述障礙的一種方法是利用CEM（受控蒸發和混合）系統進行蒸汽輸送。在蒸汽系統中，氣體質量流量控制器（例如EL-FLOW Select系列）提供準確受控的載氣流量，而液體流量計（例如mini CORI-FLOW 或 LIQUI-FLOW）測量要蒸發的液體的流量，例如從室溫加壓液體容器中抽取。液體控制閥也可用作三通執行器，其任務是將微小的液滴與載氣混合。

蒸汽流量解決方案

完整的CEM可通過外部讀數/控制單元（包括電源）進行監控，也可使用Bronkhorst軟件（如Bronkhorst Flowsuite）來監控CEM系統組件。CEM是蒸汽輸送模塊，在許多方面都優于起泡器。運行過程不受壓力和溫度影響，因為氣體和液體流量由質量流量控制器控制，質量流量儀表的高精度和高重復性確保摩爾比的準確控制。準確的質量流量控制為蒸發器的蒸汽輸出提供了良好的穩定性。將液體流直接注入載氣流中，可更好地分散液體分子在氣體中的分布，縮短響應時間。

蒸發室設計有產生湍流的內部幾何形狀，增強氣液混合物的均勻性。此外還用于加熱引入氣流的細小液滴，促進其蒸發。  

使用Fluidat on the Net軟件可輕松確定液體的質量流量。還可計算相對濕度（%RH）和摩爾濃度，便于優化Bronkhorst CEM蒸發系統。  

蒸汽流量應用：避免冷凝

通過增加壓力或降低溫度，蒸汽可相對容易地轉為液體-干燥氣體中不行。處理蒸汽的一大挑戰是防止冷凝，因其會導致液滴，破壞或損害正在進行的過程。

因此，在不改變系統壓力的情況下，保持CEM以外的溫度始終高于CEM內部的溫度并高于露點溫度。或者，在不改變溫度的情況下，將CEM以外的壓力保持在CEM內部的壓力以下。

蒸汽流量應用案例

使用CEM系統的蒸汽輸送通常發生在表面處理、食品和飲料行業、制藥應用、材料研究和測試以及環境研究等應用中。

杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。